据统计伺服阀的故障百分之八十以上是由于油液的污染问题造成的，一般常见的双喷嘴伺服阀对油液的清洁度要求为NAS1638的6级，最差不差于8级，一般用户较难达到。

在运用中常会出现由于油液太脏使阀反应迟钝、零偏增大、响应变慢等现象，严重的会由于阀被堵死或卡住造成阀不工作。而射流管阀的油液清洁度要求为NAS1638的8级，最差不差于9级，用户较容易达到。其他故障主要为：线圈或内外引出线断路（或短路），使阀不工作；密封圈或弹簧管损坏，造成漏油；反馈杆或双喷嘴阀的反馈球头损坏，使阀失效等，但都不多见，最常见的还是油液污染造成阀的故障。因此要避免伺服阀发生故障，建议把油液弄干净或选用抗污染性较好的伺服阀。